Business Area

事業領域

研究内容

開発品

クリーンルーム用機器・装置・システムの開発

半導体や液晶、精密部品、薬品、食品等の業界で使用されるFFUやクリーンブース、エアシャワーなど、クリーンルーム用機器、装置、システムの開発・設計・評価を行っています。

▲高精度温度・湿度調整クリーンルーム
▲省エネ型DCファンフィルタユニット
▲分散型ダストモニタリングシステム

気流解析技術の開発

半導体や液晶、精密部品、薬品、食品等の業界で使用されるFFUやクリーンブース、エアシャワーなど、クリーンルーム用機器、装置、システムの開発・設計・評価を行っています。

▲手術室内の気流解析
▲クリーンブース周囲の清浄度解析

設備診断・環境診断の開発

設備診断(省エネ診断、環境診断、劣化診断)のシステム開発を行っています。

▲省エネ(圧縮空気流量測定)
▲設備診断・環境診断風景
▲クリーンルーム性能評価
(バリデーション・風速測定)